耐熱性は240℃まであり、真空プロセスやクリーンプロセスに適しています。
滑らかな表面により、粒子汚染のリスクが最小限に抑えられます。
高い案内精度と優れた耐摩耗性で連続運転に最適です。
機械加工された溝、ストップ、面取り、取り付け穴でカスタマイズ可能です。
輸送および調整システムのコンポーネント要件をガイドするために設計されています。
正確なガイドと位置決めのためにウェーハハンドリング装置に取り付けられます。
位置ずれを制限するためにロード/アンロード構造内で使用されます。
ビジョンまたは測定システムと統合すると、ワークピースの安定性が向上します。
スペアパーツとして機能し、少量の交換や研究開発のニーズに対応します。