Просмотры: 0 Автор: Редактор сайта Время публикации: 16 марта 2026 г. Происхождение: Сайт
На заводах по производству полупроводников статическое электричество невидимо и незаметно, однако его разрушительная сила может действовать в течение наносекунд.
Прямая разбивка:
Люди обычно не могут ощутить электростатический разряд ниже 3000 В. Однако для чипов с шириной линии всего в несколько нанометров случайный разряд всего в несколько десятков вольт может пробить оксидный слой затвора, что приведет к немедленному выходу пластины из строя.
Потенциально вызванное повреждение (ПИД):
Еще более опасными являются разряды низкого напряжения. Чип может не выйти из строя сразу, но внутренние повреждения остаются, что приводит к преждевременному выходу продукта из строя и становится скрытым риском для надежности оборудования.
Притяжение частиц:
заряженная поверхность ведет себя как пылесос, притягивая микроскопические частицы из воздуха. В чистом помещении класса 10 одна частица размером 0,1 мкм, попавшая в область фотолитографии, может разрушить весь рисунок пластины.
Поэтому, от изготовления пластин до упаковки, тестирования и транспортировки, необходимы материалы, устойчивые к электростатическому разряду . Однако разные процессы и условия контакта требуют разных уровней электростатической защиты, что приводит к ключевому вопросу выбора удельного сопротивления материала..
Основным показателем антистатических материалов является поверхностное сопротивление (Ом) . Дело не в том, что «чем ниже, тем лучше», а в том, чтобы соответствовать сценарию применения . Эти четыре категории можно рассматривать как четыре разные «роли» в полупроводниковой мастерской.
В производстве полупроводников некоторые области применения предъявляют казалось бы, противоречивые требования : к материалам ,
Они должны быть электростатическими, но не проводящими.
Устойчивый к высоким температурам, но ультрачистый
Сохраняйте механическую прочность PEEK, обеспечивая при этом антистатические свойства.
Именно здесь 10⊃1;⁰–10⊃1;⊃2; Ом ESD PEEK вступает в игру.
Вместо того, чтобы заменять проводящие или рассеивающие материалы, он заполняет пробел между изоляцией и проводимостью..
Основная логика материалов, рассеивающих статическое электричество (10⁶–10⁹ Ом), заключается в быстром рассеивании заряда , что требует надежного пути заземления. Однако в некоторых прецизионных конструкциях заземление может быть неудобным или само по себе заземление может мешать электрическому проектированию.
Материалы в группах 10⊃1;⁰–10⊃1;⊃2; Диапазон Ом следует другой стратегии:
Подавление образования заряда:
модификация материала снижает вероятность трибоэлектрического заряда.
Постепенная нейтрализация:
даже если заряды генерируются, они могут медленно рассеиваться по микропроводящим путям или нейтрализоваться ионами в окружающей среде.
Применимые сценарии:
Идеально подходит для ситуаций, когда заземление затруднено или когда требуется как электрическая изоляция, так и защита от электростатического разряда..
Проводящий PEEK (<10⁵ Ом) обычно требует большого количества углеродных наполнителей. Хотя проводимость улучшается, это может привести к снижению механических характеристик (например, к повышенной хрупкости).
Напротив, 10⊃1;⁰–10⊃1;⊃2; Ω ESD PEEK обычно обеспечивает антистатические характеристики за счет внутренней модификации или технологии минимальных добавок , сохраняя при этом первоначальные преимущества PEEK:
Высокая термостойкость (непрерывное использование до 260 °C)
Высокая механическая прочность (способна заменить металл во многих применениях)
Отличная химическая стойкость (выдерживает чистку сильной кислотой и щелочью)
Низкое ионное загрязнение (поддерживает чистоту пластины)
Стандартный PEEK (изолятор >10⊃1;⊃2; Ом):
подходит для применений, требующих высокой изоляции, но может накапливать статическое электричество при высокоскоростном трении.
Материалы, рассеивающие статическое электричество (10⁶–10⁹ Ом):
идеально подходят для заземленных систем, требующих быстрого рассеивания заряда.
ESD PEEK (10⊃1;⁰–10⊃1;⊃2; Ω):
Расположен между ними, что позволяет медленно высвобождать заряд для предотвращения его накопления, сохраняя при этом изоляционные свойства , гарантируя, что конструкция схемы не будет затронута.
Это не обязательно «лучше» , но «другое» — специализированное решение для приложений, требующих одновременно характеристик PEEK, защиты от электростатического разряда и электрической изоляции . Типичные инженерные применения JUTAIPEEK® ESD10 # 12
для полупроводниковых ИС Тестовые разъемы
Компоненты для обработки вафель ( вафельные подушечки, лотки )
Компоненты зондовой станции
Изоляционные опорные конструкции
